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반도체 8대공정- 4.식각공정
반도체 8대 공정 1. 웨이퍼 제작 (둥근 원판제작) 2. 산화 공정 (웨이퍼 표면에 산화막 형성) 3. 포토 공정 (반도체 회로 그려넣기) 4. 식각 공정 (불필요한 부분 깎아내기) 5. 확산,증착 (불소, 인, 비
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식각 공정 이해하고 싶으시면 위 글 먼저 읽어보세요
실리콘 링 교체 주기는 짧아짐.
이만큼 더 많이 팔릴 것이란 의미로 꼭 공부해야함
파츠 회사 종류
1. 티씨케이
2. 하나머티리얼즈
3. 원익QnC
4. 월덱스
5. 케이엔제이
6. 비씨엔씨
7. 미코
파츠회사 종류는 이렇게 있는데 아래부터 자연스레 공부해보자.
CCSS. 일렉트로드, 가이드링, 스크러버
식각은 플라즈마를 가지고 식각을 함
위에 동그라미 친 부분이 식각 가스인데
식각공정 처음에는 가스를 주입함.
이게 ccss (식각 장비) 의 모습인데 위에 저 Gas 구멍에 가스를 넣음.
(참고로 ccss만드는 회사는 에스티아이, 한양이엔지)
그럼 처음에 가스를 넣어서
그 밑에 일렉트로드를 잡아주는 가이드링이 있고
좌측에 빨간 동그라미가 일렉트로드를 잡아주는 가이드링
(참고로 일렉트로드, 가이드링 하는게 하나머티리얼즈)
저 가운데 일렉트로드
이 빨간 부분(일렉트로드)을 통과해주면 가스가 플라즈마가 됨 (위에 구름같은게 가스, 그아래 퍼지고있는게 플라즈마)
저 플라즈마가 아래에 웨이퍼를 식각 하는 것.
참고로 식각을 다 하면 가스가 처리되고 나와서
정화하는 스크러버가 필요한데 (아래 그림 빨간 동그라미 부분)
스크러버는 유니셈, gst 같은 회사가 함.
포커스링
위에 빨강색 동그라미는 포커스링인데
포커스링은
SiC링과 Si링으로 나뉨.
Si링: 하나머티리얼즈 대장
SiC링: 티씨케이 대장, 케이엔제이, 하나머티리얼즈 (해외: 쿠어스텍, 페로택)
Si링은 잘 부서져 더 좋은게 SiC링으로 개발됨.
Si링-> SiC링으로 대체 돼가는 시장
D램은 아직까지 Si링이 더 많이쓰이나 미세공정이 필요한 Nand 공정은 SiC링으로 많이 대체됨.
ESC Chuck
Esc chuck 이란 웨이퍼 밑에 온도 조절해 주는것.
웨이퍼 밑에 피자도우를 판위에 올려놓듯 거기서 판 역할을 하는게 ESC chuck
미코가 Esc chuck 만듦.
이렇게 구성이 되어 있고 아래부터 회사별로 자세히 함 봐보자
1. 티씨케이
2. 하나머티리얼즈
3. 원익QnC
4. 월덱스
5. 케이엔제이
6. 비씨엔씨
7. 미코
1. 티씨케이
- 파츠 중 대장 주.
- 도카이 카본 코리아의 국내법인. (도카이 카본 지분율 59%)
- 기존에 국내 SiC 링 독점 (현재는 과점, 케이엔제이, 하나머티리얼즈등 경쟁)
- 여전히 과점 체제
- 기존에는 식각 공정에서 SiC링이 아닌 Si링을 썼으나
- 식각 공정에서 환경이 가혹해짐, 챔버 안 가스도 강하고, 플라즈마도 강하고
- 짧고 강하게 때리는 부분이 많아져서
- D램은 아직도 Si링을 많이 쓰지만, 낸드쪽은 SiC링으로 많이 대체 됨.
- 앞으로 샤워헤드 등도 Si링이 SiC로 많이 바뀔 것.
(과거 per, pbr, roe 다 현재 시총 기준으로 계산함)
- 기존에 SiC링만 했는데 비즈니스 포트폴리오 확장됨. (그래파이트 등)
- 독점에서 과점으로 바뀌었으나 (하나머티리얼즈, 케이엔제이 진입)
- 시장의 Q 자체가 커지고
- P도 크게 빠지지 않을 구조라 좋음.
-매출 비중 21년기준
- SiC링: 83.8%
- Graphite: 15.1%
- 기타: 1.1%
- 티씨케이는 비포마켓에 들어감.
*참고
비포마켓:
부품사가 장비사에다가 납품하는 것. (AMAT, 램리서치 등에 납품하는 시장)
애프터마켓:
부품사가 엔드사에 납품하는 것. (삼성전자, 하이닉스 등에 납품하는 시장)
비포마켓이 단가가 훨신 더 높음 (많으면 2~3배 차이남)
따라서 비포마켓 관련 업체들이 고 밸류 받을 수 있음.
(비포마켓: 티씨케이, 하나머티리얼즈, 원익QnC 있음) (원익QnC는 비포, 에프터 비슷하다가 최근 비포 늘어남 (램리서치 물량 늘어났기 때문, 따라서 마진율도 좋아짐)->리레이팅요소)
(애프터마켓: 월덱스, 케이엔제이 등)
고객사:
- 삼성전자
- Lam Research
- Applied Materials
- Tokyo Electron
탑다운으로는 이정도만보고
자세한건 나중에 탐방와서 다시
'기업분석' 카테고리
에 올릴 계획
2. 하나머티리얼즈
- Si링, 일렉트로드, 가이드링 등 여러가지 실리콘 기판 파츠 납품하는 회사
- 램리서치, 텔 같은 장비사 비포마켓쪽으로 매출 확대 중.
하나머티리얼즈 매출 구성
21년 기준 매출 비중
- Si 링: 48%
- 일렉트로드: 44%
- SiC링: 5.6%
- 디램향: 50%
- 낸드향: 40%
- 파운드리향: 10%
하나머티리얼즈 고객사
- TEL (Tokyo Electron)
- 미국 고객사
- Applied Materials
- 세메스
3. 원익QnC
- 쿼츠 넘버원 회사
- QnC 가 Quartz (쿼츠) 와 n C(Ceramic)
- 쿼츠웨어는 반도체 공정에서 가장 많이 쓰이는 소모품류
- 웨이퍼 옮길때 캐리어 유리로 만들어서 옮겨야 함
- MoMQ (모멘티브) 는 쿼츠의 원재료를 납품하는 자회사 (얘가 돈 많이 까먹다가 최근에 좋아짐/ 원재료 가격 상승으로)
- 세정은 반도체 내에서 파츠들이 빨리 상하기 때문에 코팅이나 세정해서 오래 쓸 수 있도록 해줌.
- 기존에 비포, 애프터 비슷하게 하다가 최근 비포마켓에 더 늘어나는 추세.
원익QnC 매출 구성
매출 비중 21년 기준
- 쿼츠: 43%
- 세정: 12%
- 세라믹: 4%
- 램프: 1%
- 모맨티브 (MoMQ): 40%
고객사
- 삼성전자
- 하이닉스
- 램리서치
- 도쿄 일렉트론
- 실크론
- 매그나칩 반도체
- DB하이텍 등
4. 월덱스
- 쿼츠, 세라믹, 실리콘 하는 회사
월덱스 매출 구성
월덱스 매출 비중 21년 기준
- 실리콘 부품: 58%
- 쿼츠: 24%
- 세라믹: 17%
- 애프터마켓 비중이 높음.
- 해외 고객사가 다변화되고 비중이 높다는게 큰 장점
고객사:
- 인텔
- 키옥시아
- 마이크론
- 삼성, 닉스
5. 미코
- 미코는 컨센이 없음
- 원래는 세정업체
- 파츠도함 (세라믹 파츠)
미코 자회사
- 코미코 (38.5%) : 반도체 부품 세정 및 코팅
- 미코세라믹스 (63.7%) : 세라믹 부품
- 미코파워 (100%) : 수소 연료전지
- 기타: 미코바이오메드 (21.5%) : 진단키트
매출 비중
세정: 60% 이상
파츠: 30% 후반
파츠는 세라믹 히터, 웨이퍼에 열이 골고루 가게 하는
세라믹 히터와 ESC Chuck (웨이퍼 밑에 놓는 것)
세라믹 히터는 PECVD에 많이 쓰임. (온도 조절하는 부품)
ESC Chuck 도 있으므로
파츠와 함께 갈 수 있으므로 공부
파츠 회사들 한눈 비교
못다룬
케이엔제이
비씨엔씨
CCSS 장비
스크러버 업체 등은 나중에 다뤄볼게요!
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